据中国半导体行业协会预计,2014年国内集成电路产业销售额增幅将达到20%,规模将超过3000亿元。据科技部网站消息称,我国极大规模集成电路制造工艺获突破,一批65-28纳米高端设备通过量产验证,而部分实现批量采购,40纳米成套工艺成功量产。
此前,科技部曹健林副部长在“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项2014年工作务虚会上指出,专项自实施以来,我国已经在集成电路高端装备、成套工艺、关键材料、封装测试等领域取得了部分突破。除了上述制造工艺突破,光刻机整机集成及零部件技术水平也得到迅速提升,封测产业加速升级,专项成果辐射相关产业应用。
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